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X 射線熒光法的精準應用

費希爾 X 射線測厚儀基于X 射線熒光（XRF）原理實現無損測量，核心邏輯可概括為 "激發 - 探測 - 分析" 三步：

射線激發：設備內置微焦點 X 射線管（多采用鎢陽極）發射初級 X 射線，穿透被測材料表層；

熒光產生：材料原子吸收能量后釋放特征熒光射線，其能量與元素種類對應，強度與厚度正相關；

信號解析：通過比例計數管、硅 PIN 二極管或硅漂移探測器（SDD）捕捉熒光信號，經數字脈沖處理器（DPP+）轉化為電信號，最終由軟件計算厚度值。

這一技術可實現0.01μm 級精度測量，且支持真空與空氣兩種測量環境，能適應最高 400℃的樣品溫度。